Topic outline

• ¡Bienvenido al curso!
  

  ¡Bienvenido al curso!

  • EFEM y manipulación de obleas

  • Recursos

  • Esquema del curso URL
  • Lista de materiales URL
• Contenido del curso
  

  Contenido del curso

  • Actividad 1: Introducción a los EFEM URL
  • Actividad 2: Seguridad del EFEM URL
  • Actividad 3: Puertos de carga y FOUP URL
  • Actividad 4: Robots de transferencia del EFEM URL
  • Actividad 5: Programación del robot de transferencia URL
  • Actividad 6: El prealineador URL
  • Actividad 7: Coordinación del robot y el prealineador URL
  • Actividad 8: Mantenimiento del robot de transferencia URL
  • Actividad 9: Mantenimiento del prealineador URL
  • Actividad 10: Integración de la esclusa de carga URL