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Los módulos EFEM y manejo de obleas
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Semiconductores
EFEM y manejo de obleas
Contenido del curso
Actividad 3: Puertos de carga y FOUP
Actividad 3: Puertos de carga y FOUP
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Esquema del curso
Lista de materiales
Actividad 1: Introducción a los EFEM
Actividad 2: Seguridad del EFEM
Actividad 4: Robots de transferencia del EFEM
Actividad 5: Programación del robot de transferencia
Actividad 6: El prealineador
Actividad 7: Coordinación del robot y el prealineador
Actividad 8: Mantenimiento del robot de transferencia
Actividad 9: Mantenimiento del prealineador
Actividad 10: Integración de la esclusa de carga
Actividad 4: Robots de transferencia del EFEM ►
EFEM y manejo de obleas
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